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參考資訊如下
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複合式紫外光雷射直寫退火製程於導電薄膜之研究

由 丁健芳 著作 · 2019 — 在AZO薄膜之雷射退火實驗中，結果顯示調變雷射能量密度和退火速度對於材料之光學與電學特性影響十分顯著。雷射退火處理後，AZO材料之可見光穿透光譜有些許的變化，平均穿透 ...

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紫外光雷射於鋁摻雜氧化鋅薄膜電極圖案化與退火製程研究

由 蕭文澤 著作 — 本研究利用紫外光雷射加工系統，採用聚焦雷. 射光斑與離焦雷射光斑針對透明導電薄膜AZO 進. 行複合式加工(雷射電極圖案化與雷射退火製程)。 藉由調變不同雷射脈衝重複頻率 ...

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